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MC100系列-气体层流质量流量控制器MFC

仪器/电气

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展品介绍

MC100系列标准型气体层流质量流量控制器

——对控制精度、重复性有更高要求的行业配套客户首选

MC100系列标准型气体层流质量流量控制器通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿及独创核心算法,在低零点、温度、压力漂移量上表现出了杰出性能。坚固的金属外壳,使产品在工业复杂环境下确保耐用性和强抗电磁干扰性能,同时,内置多种气体和混气设置,数字式和模拟式的通讯方式,实现流量的精确测量和控制。

特征:

  • 原理:层流压差式流量计
  • 量程范围:0.5sccm~5000slpm
  • 高精度:±1.0%设定值精度
  • 高重复性:±0.2%F.S.
  • 宽温度、宽压力适用范围:-20℃~60℃、1Mpa以内
  • 标配:数字信号RS485,选配:数字信号Prifibus,模拟信号:(4-20)mA、(0~5)V
  • 内置49种气体,混合气体可自主编辑
  • 提供上位机软件实时显示和下载数据信息

 使用条件:

  • 兼容内置的49种气体和可编辑的混合气体
  • 工作流量范围:1%~100%F.S.
  • 介质温度:-20℃~60℃
  • 环境温度:-20℃~50℃
  • 使用湿度:0%~98%(无冷凝)
  • 最大工作压力:1Mpa
  • 耐压:1.5Mpa
  • 供电电压:24V±20%
  • 消耗电流:<500mA(<12V)
  • 安装方式:无指定(任意角度)

应用场景

  • 光学、原子镀膜设备中的流控器件
  • 高端制造设备中流控系统的集成和配套
  • 精细化工生产线中的流控器件
  • 生物反应器成套设备中的流控器件
  • 配气系统或装置中的流控器件
  • 分析仪器、科学仪器中的流控器件
  • 定制化成套自动化设备中的流控器件
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