EMC系列经济型气体层流质量流量控制器

——可选数字或模拟信号，成本低、快速、稳定控制气体流量

EMC系列经济型气体层流质量流量控制器是一款性价比极高的质量流量控制器，尽管成本较低，但同样采用层流压差式原理，和内置压力、温度传感器的精确补偿，有数字信号RS485款和模拟信号(0~5)V款可供选择，精度可达±1.0%满量程，具有高重复性、自动测量控制和宽温度压力适用范围等特点。

特征：

• 原理：层流压差式流量计
• 量程范围20sccm~250slpm
• 高精度：±1.0%满量程精度
• 高重复性：±0.2%F.S.
• 宽温度、宽压力适用范围：-20℃~60℃、1Mpa以内
• 标配：数字信号RS485，选配：数字信号profibus，模拟信号(4~20)mA和(0~5)V
• 提供上位机软件实时显示和下载数据信息

使用条件（切换）：

• 兼容内置的49种气体和可编辑的混合气体
• 工作流量范围：1%~100%F.S.
• 介质温度：-20℃~60℃
• 环境温度：-20℃~50℃
• 使用湿度：0% ~98%（无冷凝）
• 最大工作压力：1Mpa
• 耐压：1.5Mpa
• 供电电压：24V±20%
• 消耗电流：＜500mA（＜12V）
• 安装方式：无指定（任意角度）

应用场景

• 溅射镀膜设备中的流控器件
• 光伏行业集成设备中的流控器件
• 热喷涂过程的流量控制